产品简介 激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备,由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场,随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视,其主要在:线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛,特别是在测量数控机床位置精度方面用途较为广泛。 产品用途 1.直线度测量 SJ6000激光头出射后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束,并入射到直线度反射镜中。经直线度反射镜反射后,沿着新光路返回到直线度干涉镜中,镜直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口,有光电探测器、分析器完成计数和测量。 在直线度测量过程中,可以由直线度干涉镜或者直线度反射镜运动所产生相对于运动轴的横向移动来进行测量,一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动,这样操作有利于提高测量的准确性和精度。直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量,这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。 直线度测量应用 机器轴直线度误差的测量(数控机床、坐标测量机等) 由于导轨磨损、事故造成的导轨损坏以及地基不牢导致的导轨弯曲等,会对机器的定位、加工精度带来直接的影响。直线度测量可以显示出机器导轨的弯曲或直线度的情况,并可由生成的直线度误差对机器的性能做出评价和补偿。 机器轴、直线导轨组件 当需要测量导轨较长时,传统的直角测量方法无法提供这样的测量长度和精度,测量时较重的角锥反射镜的移动可能会对测量的准确性产生影响,所有一般建议将质量较轻的直线度干涉镜作为移动部件。 机床工作台直线度测量 测量时,直线度反射镜固定在机床的工作台上,直线度干涉镜安装在移动的刀具位置,通过刀头的移动就可以记录下机床刀头的直线度。 较近工作距离 : 0.1(mm) ; 测量分辨率 : 0.5PPM ; 测量范围 : 40M ; 品种 : 激光干涉仪 ; 型号 : SJ6000 ; 品牌 : 中图 ; 类型 : 激光干涉仪 ; 加工定制 : 否 ;