激光干涉仪原理

产品简介
 
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、较高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有较高的精度和效率，而且及时处理数据，为机床误差修正提供依据。
 
工作原理
 
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜，而*二道透射光束( 测量光束)则通过分光镜射入*二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉( 见图1) 。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两较之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两较之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

配置清单
 
1)  SJ6000主机：1台
 
2)  环境补偿单元：1台
 
3)  光学镜组：
 
线性测量光学镜组：1套（标准配置）
 
小型线性光学镜组：1套（标准配置）
 
     小角度测量光学镜组：1套（选配）
 
     直线度测量光学镜组：1套（选配）
 
     垂直度测量光学镜组：1套（选配）
 
     平面度测量辅助附件：1套（选配）
 
回转轴测量精密转台：1套（选配）
 
4)  测量软件：1套
 
5) 便携式笔记本电脑：1台
 
6) 便携式仪器配件箱：1个
 
7) 通用三脚架：1个
 
8) 云台附件：1套
 
9) 磁性表座：2套
 
10)         产品使用说明书：1套
 
11)         产品合格证、保修卡：1套
 
12)         免费保修：1年
 
 
 

用途 : 检测校准 ;
较近工作距离 : 0.1（mm） ;
测量分辨率 : 0.5ppm ;
测量范围 : 40m ;
品种 : 激光干涉仪 ;
型号 : SJ6000 ;
品牌 : 中图 ;
类型 : 激光干涉仪 ;
加工定制 : 否 ;