激光干涉仪测量方法

激光干涉仪检测机床的方法（以线性检测为例）
1.进行线性测量的一般步骤 
（1）安装设置激光干涉仪 
（2）将激光束与被测量的轴校准 
（3）启动测量软件，并输入相关参数（如材料膨胀系数）。 
（4）在机床上输入测量程序，启动干涉仪测量，并记录数据。 
（5）用测量软件分析测量数据，生产补偿文件。 


² 光束快速准直步骤 
（1）沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。 
（2）移动机床工作台，当光束离开光靶外圆时停止移动， 
² 垂直光束调整 
（3）使用激光头后方的指形轮使两道光束回到相同的高度。 
（4）使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转，直到两道光束都击中光靶中心。 
² 水平光束调整 
（5）用三脚架左后方的小旋钮，调整激光头的角度偏转，使两道光束彼此重叠。 
（6）用三脚架左边中间的大旋钮，调整激光头的水平位置，使两道光束击中光靶的中心。 
（7）沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步骤3到6，直到完成整个轴向的光镜准直。 
（8）达到轴的末端时，将机床移回，使反光镜及线性反射镜互相靠近。注：若其中一道光束离开光闸的光靶，是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜，使从反光镜返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。 
　　重复步骤1到8，直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的中心。 
（9）保持光束和测量轴准直。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运动长度移动时，检查线性数据采集软件中显示的信号强度。 
2测量误差的产生及消除方法 
　　在使用激光干涉仪对数控机床的位置精度检测中，导致测量精度偏差的因素很多，必须采取措施分析消除。外界环境的变化将会对测量数据的准确性参数影响，如空气温度变化1 ℃、空气压力变化0.3 kPa、相对湿度变化30%。尤其是振动对测量准确性的影响，振动产生的影响主要表现在测量数据的分散，重复测量精度差，甚至导致无法测量。 
　　因此，应保证外界环境的稳定性，较好在恒温环境中测量。在外界环境偏离测量要求的标准条件时，可使用相关的补偿参数加以修正，测量软件可自动对温度、压力、湿度等条件进行补偿。尽量减少热源（照明灯、机床工作灯）。尽可能的减少外界的各种振动，可以在下班后比较安静的环境下测量。干涉仪的安装位置尽量靠近机床，并用较短的加长杆固定光学元件。磁力表座应直接吸在机床床身或刀架等表面，避免吸装在机床护罩或护盖较薄弱的部分，确保吸装的表面平坦且没有油渍及尘土。 


中图SJ6000激光干涉仪技术参数


用途 : 检测和校准机床三坐标机等 ;
较近工作距离 : 1（mm） ;
测量分辨率 : 1nm ;
测量范围 : 40m ;
品种 : 激光干涉仪 ;
型号 : SJ6000 ;
品牌 : 中图 ;
类型 : 激光干涉仪 ;
加工定制 : 否 ;